近日,英特尔暗示,ASML的首批两台 High NA EUV光刻机已在其工场“参预坐蓐”,比早期型号更可靠。 动作当今各人开首进的光刻机,High NA EUV的售价约3.5亿好意思元(约东谈主民币25.4亿元),不错说是天价!远高于 ASML模范EUV系列的1.8亿~2亿好意思元。 
图源:英特尔 据悉 High NA EUV 光刻机的高度越过一间会议室,长度远超前一代缔造,规格特等且极其精密,预测每小时可曝光越过185片晶圆,支援2nm以下逻辑芯片及相同晶体管密度的存储芯片量产。 一季度内坐蓐30000片晶圆,不错坐蓐数千个策画芯片。 在先进制程芯片制造中导入高数值孔径EUV居品,可简化制程工序、减少光罩数目,下载AG百家乐达到产能和良率进步,减少制造每片晶圆的能耗。 在初步测试中,ASML的新式High NA EUV缔造可靠性简短是上一代的两倍。新的ASML EUV缔造使用光束将特征打印到芯片上,也不错使用更少的曝光完成与早期缔造疏浚的职责,从而从简时期和钱。 
图源:ASML 英特尔工场的早期后果标明,High NA EUV缔造只需一次曝光和“个位数”的责罚门径就不错完成早期缔造需要三次曝光和简短40个责罚门径智力完成的职责。 英特尔计算使用High NA EUV缔造来匡助设备Intel 18A(1.8nm)制造时期,该时期计算于本年晚些时候与新一代PC芯片一齐量产。 用时愚弄High NA EUV缔造在2026至2027年间罢了Intel 14A制程时期的量产,并在此基础上进一步进步制程时期。 
图源:英特尔 英特尔花了七年时期才将这些早期缔造参预全面坐蓐AG视讯百家乐,由于时期过长才导致逐步过期于台积电,当今加快High NA EUV缔造进行量产,亦然英特尔政策出动的一部分。
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