金融界2025年4月10日音讯，国度常识产权局信息知道，北京朔方华创微电子装备有限公司得到一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺开导”的专利，授权公告号CN222734924Uag百家乐代理，央求日历为2024年2月。
专利选录知道，本实用新式提供一种半导体工艺腔室及半导体工艺开导，半导体工艺腔室包括腔室本色、介质窗、射频线圈、第一测距部件和改换组件，介质窗确立在腔室本色的顶部；射频线圈确立在腔室本色外，并位于介质窗的上方；第一测距部件与射频线圈伙同并朝向介质窗确立，用于检测射频线圈与介质窗之间多个位置的第一间距；改换组件与射频线圈伙同确立，用于左证第一间距，来改换射频线圈与介质窗的平行度。本实用新式提供的半导体工艺腔室及半导体工艺开导，简略对静电卡盘与射频线圈的平行度进行检测并改换，AG真人百家乐官方从而简略改善静电卡盘与射频线圈的平行度，进而简略改善晶圆的刻蚀均匀性。
天眼查贵寓知道，北京朔方华创微电子装备有限公司，耕种于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东说念主民币，实缴成本114153.708311万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标名堂1011次，财产痕迹方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。
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