荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）是现在独一能坐蓐EUV（极紫外光）光刻机的制造商，但被好意思国阻止向中国出售EUV光刻机ag百家乐接口多少钱，导致中国公司难以自行坐蓐高端芯片。

中科院上海光学精密机械磋议所由前ASML科学家林楠带领的团队，近月收效开导出LPP-EUV光源，已达外洋最初水平，对内地自主研发EUV光刻机具紧要意旨。

林楠团队的磋议遵循近月发表于《中国激光》期刊。 公开信息裸露，EUV光刻机中最中枢的分系统是激光等离子体（LPP）EUV光源，主要温煦能量革新遵循（CE）。 二氧化碳激光器引发的Sn等离子体CE大于5%，是ASML光刻机的起先光源，但此前这类光源由好意思国Cymer制造，辞寰宇界限内处于阁下地位。

因此，林楠团队计议使用固体脉冲激光器代替二氧化碳激光当作起先光源，但能量遵循需要进一步擢升。 现在林楠团队1um固体激光的CE最高可达到3.42%，卓著了荷兰和瑞士磋议团队的水平，固然莫得卓著4%，百家乐ag真人曝光但仍是达到了商用光源5.5%革新遵循的一半。

林楠团队磋议东谈主员推测，光源践诺平台的表面最大革新遵循可能接近6%，团队正筹画加多进一步的磋议，改日有望进一步完毕国产EUV光刻时刻。

林楠。 （中国科学院官网）

贵府裸露，林楠是中科院上海光学精密机械磋议所磋议员，曾任ASML公司研发科学家、研发部光源时刻精良东谈主，曾主导ASML EUV光源研发的中枢筹画，2021回国。

不外，在4月的一次投资者电话会议上，ASML首席财务官戴厚杰（Roger Dassen）暗意，中国进行的光刻机替代磋议时刻发扬已有耳闻，中国照实有可能制造出EUV光源，但他信服，中国依然需要许多年武艺造出一台先进EUV光刻竖立。

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