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尹志尧阐明,这位在半导体修复畛域领有深厚造诣的科学家,曾活泼地形貌过5纳米刻蚀机的研发难度。他说,研发刻蚀机的复杂进程毫不亚于“两弹一星”,这不仅是因为它需要集
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