据国外光电工程学会（SPIE）报谈，中国科学院（CAS）扣问东谈主员奏效研发坑害性的固态深紫外（DUV）激光，能辐射 193 纳米的相关光（Coherent Light），该波长现在被用于半导体曝光技巧。
论文已刊登在spiedigitallibrary.org
据报谈而这项技巧已在中国本质室中收场。如若光源技巧或者彭胀，此安装就不错用来制造曝光诞生，但至于固态激光是否能奏效彭胀应用，仍存在未知数。
以传统技巧来看，ASML、Canon和Nikon的DUV光刻机垄断氟化氩（ArF）准分子激光产生193nm光源。激光腔内包含氩气与氟的羼杂物，以及氖气看成缓冲气体。当施加高压电脉冲时，氩原子与氟原子被激励，狭小变成不踏实分子ArF（或准分子），此分子赶紧复返基态，开释出波长为193纳米的光子。
由于激光以短而高能量的脉冲神志辐射这些光子，输出功率高达 100W-120W、频率在 8~9 kHz，然后这束 193 纳米光束透过光学系统进行整形、率领与踏实后，当色泽干预曝光扫描机时，会透过光罩（photomask）将芯片电路图案曝光至晶圆上。
中国科学院蛊惑的测试安装选拔全固态尺度产生193nm的光，有余幸免使用气体的准分子激光。它先使用克己的Yb：YAG晶体放大器，产生1,030纳米的激光光束，随后该光束被分红两条光路，每条光路齐流程不同的光学制程，ag平台真人百家乐以产生193纳米所需的组件。
在第一条旅途中，1,030纳米光束透过四倍频产生（FHG，Fourth-Harmonic Generation）疗养成258纳米的光束。「四倍频生成」是种非线性光学制程，可将激光光束疗养成原始波长的四分之一。
在第二条旅途中，1,030纳米光束的另一半被用于泵浦光学参数放大器，产生功率为700 mW的1,553纳米光束。
这两个光束（258纳米和1,553纳米）之后在串联的三硼酸锂（LBO）晶体中聚拢，产生波长为193纳米的相关光，平均功率为70 mW，责任频率为6 kHz。中国科学院默示，测试系统的线宽窄于880 MHz，其光谱纯度性能可比好意思现在使用的商用系统。
中国科学院系统使用全固态激光产生193nm的光，具备70 mW的平均功率和6 kHz的运作频率，并收场小于880 MHz的窄线宽。然则，这一测试系统的输出功率比较ASML ArF准分子激光系统仍存在数个数目级的差距，后者可提供100~120W的功率，且运作频率达9 kHz。
固然中国科学院的初步技巧展示了可行性网络彩票和AG百家乐，但现在的低功率输出使其还无法知足生意化半导体制造的需求，因为芯片分娩高度依赖高通量与踏实的制程，因此若要使这项技巧成为可行的微影光源，可能还需阅历多代技巧蛊惑与提高。
